Prof. Dr.-Ing. Günther Benstetter
- Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik
- Elektronische Bauelemente
- Materialwissenschaften und Angewandte Festkörperphysik
Raum: E 208
+49 (0)991 3615-513
+49 (0)991 3615-599
Kernkompetenzen
- Mikro- Nano- und Oberflächenanalytik
Raster-Sonden-Mikroskopie
Raster-Elektronen-Mikroskopie & STEM
Gefüge- und Strukturanalytik (EBSD)
Röntgenanalytik (EDX, WDX)
Mikro-Röntgenfluoreszenz (μ-XRF)
FT-Infrarotspektroskopie
- IC Qualitätssicherung und Zuverlässigkeitsanalytik
- Fehler- und Ausfallanalytik
- Halbleitermesstechnik
- Dünne Schichten
Forschung & Beratung
Forschungsgruppe: Micro- und Nanoananlytik
Akademischer Werdegang
- Berufung: Prof. Hochschule Deggendorf 1998
- Promotion: Dr.-Ing., TU München 1994
- Studienabschluss: Dipl.-Ing. Elektrotechnik 1989
Beruflicher Werdegang
1989-1994: Wissenschaftlicher Assistent, TU München
1994-1995: Entwicklungsingenieur Siemens HL; DRAM – Projekt in Burlington, VT, USA
1995-1998: Leiter Fehleranalyse IBM/Siemens/Toshiba
seit 1998: Professor an der Hochschule Deggendorf Fakultät Elektrotechnik Medientech- nik Laborleiter für die Labore Elektronische Bauelemente, Mikroelektronik, Raster- Kraft- Mikroskopie und Oberflächenanalytik
Zuletzt aktualisiert am Montag, den 19. März 2012 um 11:09 Uhr